硅基氮化镓超精密研磨切割减薄技术

关于锐宸旭

两岸技术合作,扎根大陆第三代半导体

锐宸旭是面向大陆市场全新打造的半导体企业,与中国台湾世宣科技公司共同合作引进超精密研磨切割减薄技术,专注解决第三代宽禁带半导体的散热与应力难题。

世宣科技 2007 年创办于台湾,专精第三代宽禁带半导体晶圆减薄、切割解决方案。

引进多项成熟自研专利技术,团队扎根大陆,稳步开拓国内第三代半导体产业版图。

聚焦 GaN-on-Si 晶圆后端精密制程,服务从研发打样到量产导入的全流程。

需求飞速增长,减薄工艺成为瓶颈

第三代半导体产业飞速崛起,GaN-on-Si 渗透率逐年攀升。伴随高压、大功率应用持续扩容,器件对散热要求越来越高,也对晶圆后端精密制程提出更严苛标准。

200 μm 以下的行业难点

  • 翘曲变形
  • 内部应力过大
  • 晶圆碎裂等制程风险

RCX 专利技术已突破难点

  • 稳定减薄至 150–75 μm,并达到量产规模
  • 封装后有效提高散热、降低热阻
核心工艺

超精密减薄 + 应力控制

自主研发的专利技术,以独立分离的加工工序处理晶圆,从根本上降低 GaN 材料因高硬度、高脆性导致的加工崩裂风险。

01

预留厚度加工

加工过程中保留适当厚度进行切割,再研磨至最终尺寸,有效降低破裂风险。

02

应力精准控制

创新专利研切技术精准控制加工过程中的应力分布,减少芯片隐裂与缺陷风险。

03

独立工序处理

以独立分离的加工工序处理晶圆,从根本上降低高硬度、高脆性材料的崩裂风险。

04

破损晶圆再利用

支持破损晶圆直接修整加工,无须额外处理步骤,提升晶圆利用率。

研磨主轴下行至真空吸盘上的硅晶圆
晶圆减薄:研磨主轴下行
切割刀沿晶圆切割道划过
划片:切割刀通过切割道
四大核心优势

从减薄到良率,全链路优势

I

精密减薄能力

GaN 晶圆可稳定减薄至 75–150 μm,突破传统整片研磨限制,支持针对单颗晶粒独立减薄,可依产品设计需求客制化目标厚度。

75–150 μm精密减薄
II

散热提升与热阻降低

芯片减薄有效缩短热传导路径,改善 GaN 高功率应用下的热累积问题;透过厚度客制化,减少合封结构中的高度补偿垫片需求。

↓热阻显著降低
III

应力控制技术

先切割再减薄,使曲率作用的跨距由晶圆缩小为单颗芯片。挠度随跨距平方下降,同等曲率下芯片级挠度较晶圆级下降超过千倍,大幅降低崩边与破片风险。

0×挠度下降倍数
IV

确保良率

稳定的精密加工制程提升整体成品良率与材料利用率;支持单颗芯片独立加工,降低因局部异常造成的整批材料损失,减少不必要的重工成本。

↑良率优于行业平均
我们的服务

GaN-on-Si 后端制程服务

专注硅基氮化镓(GaN-on-Si)晶圆后端制程,提供减薄、划片、挑粒、激光开槽、背面金属化与制程间清洗的 OEM 服务。支持单颗晶粒独立加工与破损晶圆修整,服务范围涵盖研发打样、小批量验证到量产导入。

01

减薄

稳定减薄至 75–150 μm,支持单颗晶粒独立加工

02

背面金属化

减薄后背面镀层,降低接触热阻

03

激光开槽

切割前开槽,抑制脆性材料崩边

04

划片

先切割再减薄,跨距由晶圆缩小为单颗芯片

05

清洗

制程间清洗,控制颗粒与残留

06

挑粒

超薄芯片分选与移载,降低破片

受理范围
硅基氮化镓 GaN-on-Si减薄至 75–150 μm打样 · 小批量 · 量产
合封应用

Spacer-free 合封方案

传统合封时,两种芯片厚度存在差异,常需在较薄芯片下方加入 Spacer 补偿高度,增加材料层与热介面。透过超精密减薄技术,GaN 晶粒厚度可更接近 Si MOSFET,进而取消 Spacer,同时缩短垂直热传导路径。

开盖后的合封封装:GaN 晶粒与 Si MOSFET 并列打线于同一腔体内
实际合封封装开盖照:GaN 晶粒与 Si MOSFET 并列于同一腔体,金线打线互连。
A传统方案需 Spacer 补偿高度GaN IC300 μmSi MOSFET100 μmSpacer200 μmB超精密减薄厚度匹配,取消 SpacerGaN IC(减薄)100 μmSi MOSFET100 μm基板−200 μm
两种合封堆叠的比例示意。减薄后 GaN 与 Si MOSFET 厚度一致,Spacer 连同其 200 μm 高度与一层热介面一并取消。
比较项目传统合封超精密减薄方案
高度匹配方式依赖 Spacer 补偿控制 GaN 厚度匹配
MOSFET 底部 Spacer需要可取消
热传导介面较多较少
封装结构较复杂较简化
热管理潜力受 Spacer 与厚度限制更低热阻,更佳散热

让硅基氮化镓的应力不再是难题

愿景 VISION

优化第三代半导体加工生态,填补 GaN-on-Si 超薄精密加工领域的技术空白。

革新硅基氮化镓行业加工制程。

使命 MISSION

汇聚两岸技术力量,让中国在国际半导体市场更具竞争优势。

让硅基氮化镓的应力不再是难题。