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PRECISION GaN-on-Si PROCESSING

硅基氮化镓
超精密研磨切割减薄
技术方案

锐宸旭科技专注第三代半导体晶圆减薄、切割与应力控制,以自主专利工艺为 GaN-on-Si 器件提供从研发打样到量产导入的一站式解决方案。

75–150 μm稳定精密减薄
200 μm 以下工艺难点突破
中国台湾成熟专利技术
量产级良率与可靠性
🎯 单颗晶粒独立减薄
⚡ 散热与热阻优化

关于锐宸旭

锐宸旭是面向大陆市场全新打造的半导体加工企业,与中国台湾世宣科技公司深度合作,引进并本土化超精密研磨切割减薄技术。

01

两岸技术合作

锐宸旭与中国台湾世宣科技公司共同合作,引进其在第三代宽禁带半导体领域深耕多年的超精密研磨、切割与减薄技术,实现技术本土化落地。

02

十七年技术积淀

世宣科技于 2007 年在中国台湾创办,长期聚焦 GaN 等第三代半导体散热难、应力高的工艺痛点,提供专业的晶圆减薄与切割解决方案。

03

扎根大陆市场

团队已将多项中国台湾成熟的自研专利技术引入大陆,稳步开拓国内第三代半导体产业版图,为客户提供从研发到量产的贴身服务。

市场洞察

第三代半导体产业飞速崛起,硅基氮化镓(GaN-on-Si)渗透率逐年攀升;高压、大功率应用场景持续扩容,对晶圆后端精密制程与散热工艺提出了更高标准。

🚧 行业现存减薄之难点

  • 200 μm 以下晶圆研磨、切割制程中易出现翘曲变形
  • 超薄加工导致内部应力过大,影响器件可靠性
  • 高硬度、高脆性 GaN 材料面临晶圆碎裂与破片风险

💡 我们的核心优势

  • 专利技术已突破现存难点,可稳定减薄至 75–150 μm
  • 达到量产规模,封装后有效提高散热、降低热阻
  • 精准应力控制,显著降低破片、微裂纹与崩边风险

核心工艺:SDBG + 应力控制

采用自主研发的专利技术,以独立分离的加工工序处理晶圆,从根本上降低 GaN 材料因高硬度、高脆性导致的加工崩裂风险。

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独立分离工序

采用自主研发的专利技术,以独立分离的加工工序处理晶圆,从根本上降低 GaN 材料因高硬度、高脆性导致的加工崩裂风险。

02

精准应力分布控制

创新专利研切技术精准控制加工过程中的应力分布,减少芯片隐裂与缺陷风险,提升制程稳定性。

03

预留厚度加工方式

加工过程中保留适当厚度进行切割,再研磨至最终尺寸,有效降低晶圆在薄化过程中的破裂风险。

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破损晶圆直接修整

支持破损晶圆直接修整加工,无须额外处理步骤,减少材料损耗,提升晶圆整体利用率。

四大核心优势

精密减薄、散热提升、应力控制、确保良率——四位一体,为 GaN-on-Si 器件量产保驾护航。

ADVANTAGE Ⅰ

精密减薄能力

GaN 晶圆可稳定减薄至 75–150 μm,满足超薄化产品需求,突破传统整片研磨限制,可针对单颗晶粒进行独立减薄。

  • 可依产品设计需求进行客制化目标厚度加工
  • 突破传统整片研磨限制,单颗晶粒独立减薄
  • 支持研发打样、小批量验证至量产导入
75-150μm
ADVANTAGE Ⅱ

散热提升与热阻降低

芯片减薄可有效缩短热传导路径、降低器件热阻;结合封装结构优化,进一步提升散热效率与长期可靠性。

  • 缩短热传导路径,降低器件热阻
  • 改善 GaN 高功率、高功率密度应用下的热累积问题
  • 透过厚度客制化减少合封结构中的高度补偿垫片需求
THERMAL PATH
ADVANTAGE Ⅲ

应力控制技术

采用自主专利研磨加工技术,建立差异化 GaN 超薄加工能力,有效降低超薄加工过程中的崩边、微裂纹及破片风险。

  • 专利制程针对芯片研磨过程进行精准控制
  • 有效降低崩边、微裂纹及破片风险
  • 建立可重复、可控制的制程条件,提升批次一致性
STRESS CONTROL
ADVANTAGE Ⅳ

确保良率

透过稳定的精密加工制程,提升整体成品良率与材料利用率;支持单颗芯片独立加工,降低因局部异常造成的整批材料损失。

  • 稳定的精密制程提升整体良率与材料利用率
  • 单颗芯片独立加工,降低局部异常导致的整批损失
  • 减少材料耗损与重工,降低整体加工与封装成本
YIELD ↑

合封应用:更简化的封装,更低的热阻

传统合封因芯片厚度差异需加入 Spacer 垫片补偿高度,增加热界面并延长热传导路径。锐宸旭的超精密减薄技术可使 GaN 晶粒厚度与 Si MOSFET 高度匹配,从而取消 Spacer,实现封装结构简化与热阻改善的双重收益。

Spacer-free 超薄方案

通过精确控制 GaN 晶粒厚度,使其接近 Si MOSFET 厚度,从根本上减少封装堆叠中的补偿垫片,缩短垂直热传导路径。

结果:封装结构更简化、GaN 热传导距离更短、热管理潜力更佳,整体散热与可靠性显著提升。

比较项目传统合封超精密减薄 Spacer-free 方案
GaN/MOSFET 高度匹配依赖 Spacer 补偿控制 GaN 厚度匹配
MOSFET 底部 Spacer需要可取消
热传导界面较多较少
封装结构较复杂较简化
GaN 热传导距离较长减薄后缩短
热管理潜力受 Spacer 与厚度影响更低热阻、更佳散热

愿景与使命

汇聚两岸技术力量,填补第三代半导体 GaN-on-Si 超薄精密加工领域的技术空白。

VISION 愿景

  • 优化第三代半导体加工生态
  • 革新硅基氮化镓行业加工制程
  • 让硅基氮化镓的应力不再是难题

MISSION 使命

  • 填补第三代半导体 GaN-on-Si 超薄精密加工领域的技术空白
  • 汇聚两岸技术力量,让中国在国际半导体市场更具竞争优势

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